精细流量调节的化学液补充系统

高分辨率

最小流量达1mL/shot，为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制，提供更高的准确性。CFD系列能提供准确流量，防止过量添加或液体浪费。此外，防虹吸设计防止意外吸入。

耐腐蚀过流端

氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。针对化学腐蚀，PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。

宽广的吐出率调节

打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。

配备泄漏传感器

每台泵都配有泄漏传感器，可实时检测任何泄漏情况。

规格